Infinitesima Metron3D Rapid Probe Metrology System

High throughput, in – line probe metrology system for Semiconductor Manufacturing
High throughput, in – line probe metrology system for Semiconductor Manufacturing

Infinitesima 革命性的 Metron3D  測量系統為新一代半導體促成內聯 3D 過程監制

英國阿賓頓, Aug. 23, 2022 (GLOBE NEWSWIRE) -- Infinitesima 欣然宣佈完成一輪投資,以提高 Metron3D 300 mm 內聯晶圓測量系統的產量,以便於 2022 年第四季度起向客戶發貨。

 Metron3D  系統採用公司經過驗證的快速探針顯微鏡 (RPM) 技術和領先行業供應商的模組,以達至最高的性能和可靠性。該系統旨在用於高產量、全自動化、內聯生產過程監控,以滿足高級半導體工藝中對高解像度 3D 測量日益增長的需求。

Infinitesima 技術總監兼創辦人 Andrew Humphris 教授表示:「我們很高興我們獨特的高速探針技術和對內聯 3D 測量不斷增長的行業需求,帶來了強大的客戶體驗。」 

該輪投資由  Wonik Investment Partners 領導,該公司是韓國領先的國際公司 Wonik 的子公司,Wonik 經營各種業務,包括半導體材料和設備。 

Wonik Investment Partners 總裁 Dong Su Kim 評論說: 「我們看到 Infinitesima 有巨大的增長機會,其獨特的 3D 測量技術和經驗豐富的團隊,可滿足對新一代半導體過程監控越來越具挑戰性的要求。」

Infinitesima 主席兼  ARC InterCapital創辦人 Andrew Dixon 說: 「在我們向領先的半導體製造商推出 Metron3D 之時,我們很高興歡迎 Wonik Investment Partners 成為我們的共同投資者和合作夥伴。」

關於 Infinitesima

Infinitesima Limited 是位於英國的半導體行業先進測量解決方案的領導者。該公司開創了一項創新的技術,結合了原子力顯微鏡的 3D表面偵測能力、高速激光激活,以及快速探針顯微鏡 (RPM) 的干涉測量準確性,當中RPM受到廣泛的專利組合保護。

該公司的 RPM 技術已由領先的半導體設備公司作為模組整合,並由領先的半導體製造商使用。

半導體製造商越來越需要更高解像度的 3D 測量解決方案,以控制目前光學和電子束技術無法解決的新一代過程。Infinitesima 推出了高速 測量系統 Metron3D,其特點是公司的專利 RPM 技術,從而滿足客戶對內聯亞納米* 3D 過程監控不斷增長的需求。

* 1 納米 (nm) 等於一米的 10-9  (單個矽原子的直徑約為 0.2nm)。

此公告隨附的照片可在以下網址查看:https://www.globenewswire.com/NewsRoom/AttachmentNg/96b7871e-c1de-4cfd-83de-39232a38dc56

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