這款全新的射頻功率測量儀將功率感測器和測量儀表合二為一,成為一款容易使用的儀器,不但簡化監測流程,而且還可支援準確控制功能

臺灣 - Media OutReach - 二零二一年十二月十五日 - Advanced Energy (Nasdaq: AEIS) 一直致力於開發各種先進的高精度電源轉換、測量和控制系統等解決方案,這方面的技術更一直領先全球。該公司宣佈推出一款型號為 GEMINI™ 5540A 的射頻功率測量儀。這款全新的功率測量儀內建一組高度靈活、方便易用而又高度整合的測量電路,可支援高度精確的線上射頻功率測量功能,而且適用於必須配備高精度射頻功率控制功能的方案,例如半導體、通訊系統、工業製品和醫療設備等產品。Advanced Energy 一直是半導體產品射頻功率解決方案的市場領導者,今後該公司會繼續努力研發全新的技術,以改善電漿電源功率控制功能,以及提升先進蝕刻和沉積製程的效能。


GEMINI 5540A 是一款將感測器和測量儀表合二為一的儀器,不但容易使用,而且還可在 0.2 至 200MHz 之間的頻率範圍以及 3 至 5,000W 的功率範圍內執行測量功能,其 2-sigma 準確度達 ±0.5% + 0.5 W。這是一款高度整合的測量儀器,用戶只需採用一個測量儀表,便可取代多種不同的測量儀器,最適用於需要準確測量和控制其射頻功率的設備。

Advanced Energy 關鍵感測和控制產品副總裁 Gerry Blumenstock 表示:「技術要求極為嚴格的半導體製程,例如高深寬比(HAR)電漿蝕刻、高精度控制和射頻系統的腔室匹配等製程,其效能直接受所採用的技術影響。OEM廠商只要採用 Advanced Energy 這項全新的 GEMINI 5540A 測量技術,便可準確校正系統以及即時監測其射頻功率,提高先進電漿製程的傳真度和一致性。」

GEMINI 5540A 射頻功率測量儀配備一個較大而又易於閱讀的OLED數位顯示器,可同時顯示正向和反向功率、電壓駐波比(VSWR)和頻率,而且無需為正向和反向功率測量重新配置,也可自動感測頻率。這款測量儀可將校正次數減少至每12個月一次。相較之下,傳統的測量儀器則需要每6個月校正一次。這款射頻功率測量儀以5V輸入電壓、500mA輸入電流進行作業,但要透過標準的USB 2.0 埠連接外置電池或交流電源插座,利用交流電時則要採用已有現貨供應的USB配接器。

這款測量儀除了可直接用來測量之外,也可連接電腦,以便與 Advanced Energy 的 GEMINI Tools 資料視覺化軟體搭配一起,執行資料蒐集、儲存和審核功能。

查詢有關產品的詳細資料和技術規格,可登入 www.tegam.com/shop/rf-microwave/power-meters/no-product/gemini-5540a-rf-power-meter 網頁查閱。

Advanced Energy 簡介

Advanced Energy (納斯達克:AEIS) 致力為任務關鍵型應用和製程設備設計並製造先進精密的電源轉換、測量和控制系統解決方案,這方面的技術一直領先世界。AE 一直為客戶提供各種電源解決方案,讓客戶可針對不同工業的各種複雜應用,開發各種創新產品,其中包括半導體工業設備、工業製品、生產設備、電信設備、資料中心運算系統和護理設備。憑借廣泛而深厚的專業積累和觸及全球的快速響應服務網路,AE 力圖通過緊密的合作夥伴關係來滿足技術的快速發展、推動客戶的增長並助力技術的未來。AE 總部位於美國科羅拉多州丹佛市,三十多年來一直致力為全球客戶提供盡善盡美的電源產品。如需進一步查詢相關資料,請登入 www.advancedenergy.com 網頁瀏覽。

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