這款4100T多通道、非接觸式光纖溫度計的測量度數更準確,而且讀取率也較快,讓一直領先市場的OR4000T可以輕易換代更新

臺灣 - Media OutReach - 二零二一年十一月二十四日 - Advanced Energy (Nasdaq: AEIS) 一直致力於開發各種先進的高精度電源轉換、測量和控制系統等解決方案,這方面的技術更一直領先全球。該公司宣佈推出一款名為Sekidenko 4100T 的高溫計。這款4100T光纖溫度計採用隨插即用的設計,只要輕輕一插便可取代 Advanced Energy 一直領先市場的OR4000T,而且4100T的溫度測量準確度特別高,溫度範圍也較寬廣,加上內建的多條通道可同時進行讀取,讓讀取速度可以提升至最高水平,因此極適用於先進半導體和相連的薄膜應用。


Advanced Energy 關鍵感測技術及控制系統行銷及應用副總裁 Jeff Hebb 表示:「Advanced Energy 的高溫計效能卓越,技術領先同業,一直獲多家頂尖的半導體OEM大廠採用。這款4100T高溫計的許多功能都比原先一直領先同業的 Advanced Energy OR4000T 有進一步的改善,新功能也很多,讓我們的客戶可將製程控制能力和生產力提升至無與倫比的高水平。功能齊備的4100T是一款可輕易取代OR4000T的替代品,讓我們現有的客戶可以輕易為系統換代更新。此外,這款高溫計也可支援EtherCAT、串聯和USB通訊介面。」

由於使用4100T的用戶可以同時測量多達4個不同位置的溫度,因此執行多點控制功能所不能缺少的控制箱可以進一步減少,這樣有助於縮小方案大小,也可節省系統成本。此外,每一通道的讀取速度可以高達1kHz,因此熱反應會更快,讓溫度可以更易受控,並確保先進應用的溫度更加一致,相關的應用包括快速熱處理、雷射退火、原子層沉積以及其他先進的沉積技術。

這款多通道的光纖溫度計可按照特殊應用發射可配置波長,因此其準確度、可重複性和可靠性都特別高,而且讀取速度也較快,適用於要求極為嚴格的溫度測量工作。傳統的熱藕合和其他接觸式的感測器測量方法有時並不十分適用,例如直接接觸會令晶圓受損,也會產生污垢或因為受到熱轉移效應的影響以致出現測量誤差。4100T光纖溫度計可以無需接觸相關物體而直接在現場測量溫度,準確度在 ±1.5°C 之內。此外,4100T光纖溫度計不但沒有因直接接觸而可能產生的問題,而且對於某些應用來說,例如,正在移動中的晶圓或正以極高溫或較高變溫速度(ramp rate)研磨處理中的晶圓,4100T是個理想的解決方案。

有關產品的詳細資料和技術規格,可登入 https://www.advancedenergy.com/products/temperature-measurement/thermal-measurement-optical-pyrometers-power-controllers/semiconductorthin-film-pyrometers/sekidenko-4100t/ 網頁查閱。

Advanced Energy 簡介

Advanced Energy (納斯達克:AEIS) 致力為任務關鍵型應用和製程設備設計並製造先進精密的電源轉換、測量和控制系統解決方案,這方面的技術一直領先世界。AE 一直為客戶提供各種電源解決方案,讓客戶可針對不同工業的各種複雜應用,開發各種創新產品,其中包括半導體工業設備、工業製品、生產設備、電信設備、資料中心運算系統和護理設備。憑借廣泛而深厚的專業積累和觸及全球的快速響應服務網路,AE 力圖通過緊密的合作夥伴關係來滿足技術的快速發展、推動客戶的增長並助力技術的未來。AE 總部位於美國科羅拉多州丹佛市,三十多年來一直致力為全球客戶提供盡善盡美的電源產品。如需進一步查詢相關資料,請登入 www.advancedenergy.com 網頁瀏覽。

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